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气相沉积前体

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硅酸四乙酯

英文名称:Tetraethyl orthosilicate

CAS号:78-10-4

中文别名:正硅酸乙酯

四氯硅烷

英文名称:Tetrachlorosilane

CAS号:10026-04-7

中文别名:氯化硅(IV)

英文名称:rhodium atom

CAS号:7440-16-6

中文别名:铑碳

英文名称:Water

CAS号:7732-18-5

中文别名:一氧化二氢

双(五甲基环戊烯)铬

英文名称:BIS(PENTAMETHYLCYCLOPENTADIENYL)CHROMIUM

CAS号:74507-61-2

中文别名:双(五甲基环戊二烯)铬(II)

白金

英文名称:platinum

CAS号:7440-06-4

中文别名:亮白金水

双(五甲基环戊二烯)锰

英文名称:BIS(PENTAMETHYLCYCLOPENTADIENYL)MANGANESE

CAS号:67506-86-9

中文别名:双(五甲基环戊烯)锰

英文名称:titanium atom

CAS号:7440-32-6

中文别名:钛粉

1,1'-二乙基二茂铁

英文名称:1,1'-DIETHYLFERROCENE

CAS号:1273-97-8

中文别名:1,1’-二乙基二茂铁

英文名称:yttrium atom

CAS号:7440-65-5

中文别名:钇粉

双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)锶(II)

英文名称:strontium,(Z)-2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-olate

CAS号:36830-74-7

中文别名:双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮)锶(II)

英文名称:tin atom

CAS号:7440-31-5

中文别名:锡箔

英文名称:tantalum atom

CAS号:7440-25-7

中文别名:钽粉

乙氧醇铌

英文名称:ethanolate,niobium(5+)

CAS号:3236-82-6

中文别名:乙醇铌(V)

1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷

英文名称:2,4,6,8-tetramethyl-1,3,5,7,2λ<sup>3</sup>,4λ<sup>3</sup>,6λ<sup>3</sup>,8λ<sup>3</sup>-tetraoxatetrasilocane

CAS号:2370-88-9

中文别名:2,4,6,8-四甲基环四硅氧烷

六羰基钨

英文名称:Tungsten hexacarbonyl

CAS号:14040-11-0

中文别名:羰化钨

三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽

英文名称:tert-butyliminotantalum,diethylazanide

CAS号:169896-41-7

中文别名:三(二乙基氨基)叔丁酰亚胺钽

溴化硅(IV)

英文名称:Silicon(IV) bromide

CAS号:7789-66-4

中文别名:溴化硅

英文名称:palladium

CAS号:7440-05-3

中文别名:鈀

二乙基锌

英文名称:diethylzinc

CAS号:557-20-0

中文别名:二乙基锌1M己烷溶液

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