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用于沉积系统的CVD和ALD前体封装

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12个化工产品

硅酸四乙酯

英文名称:Tetraethyl orthosilicate

CAS号:78-10-4

中文别名:正硅酸乙酯

英文名称:Water

CAS号:7732-18-5

中文别名:一氧化二氢

乙氧醇铌

英文名称:ethanolate,niobium(5+)

CAS号:3236-82-6

中文别名:乙醇铌(V)

1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷

英文名称:2,4,6,8-tetramethyl-1,3,5,7,2λ<sup>3</sup>,4λ<sup>3</sup>,6λ<sup>3</sup>,8λ<sup>3</sup>-tetraoxatetrasilocane

CAS号:2370-88-9

中文别名:2,4,6,8-四甲基环四硅氧烷

六羰基钨

英文名称:Tungsten hexacarbonyl

CAS号:14040-11-0

中文别名:羰化钨

三(二乙基氨基)叔丁酰胺钽

英文名称:tert-butyliminotantalum,diethylazanide

CAS号:169896-41-7

中文别名:三(二乙基氨基)叔丁酰亚胺钽

二乙基锌

英文名称:diethylzinc

CAS号:557-20-0

中文别名:二乙基锌1M己烷溶液

三乙基镓

英文名称:triethylgallane

CAS号:1115-99-7

中文别名:三乙基化镓

三(二甲胺基)硅烷

英文名称:TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE

CAS号:15112-89-7

中文别名:三(二甲氨基)硅烷

二(乙基环戊基)钴(II)

英文名称:Bis(ethylcyclopentadienyl) cobalt

CAS号:55940-05-1

中文别名:1,1'-二乙基二茂钴

四(二甲胺基)铪(IV)

英文名称:TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV),

CAS号:19782-68-4

双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钨(VI)

英文名称:bis(tert-butylimino)tungsten,dimethylazanide

CAS号:406462-43-9

中文别名:双(叔丁基胺)双(二甲基胺)钨(VI)

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