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CVD和ALD金属前体

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四氯硅烷

英文名称:Tetrachlorosilane

CAS号:10026-04-7

中文别名:氯化硅(IV)

双(五甲基环戊烯)铬

英文名称:BIS(PENTAMETHYLCYCLOPENTADIENYL)CHROMIUM

CAS号:74507-61-2

中文别名:双(五甲基环戊二烯)铬(II)

双(五甲基环戊二烯)锰

英文名称:BIS(PENTAMETHYLCYCLOPENTADIENYL)MANGANESE

CAS号:67506-86-9

中文别名:双(五甲基环戊烯)锰

1,1'-二乙基二茂铁

英文名称:1,1'-DIETHYLFERROCENE

CAS号:1273-97-8

中文别名:1,1’-二乙基二茂铁

双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)锶(II)

英文名称:strontium,(Z)-2,2,6,6-tetramethyl-5-oxohept-3-en-3-olate

CAS号:36830-74-7

中文别名:双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮)锶(II)

溴化硅(IV)

英文名称:Silicon(IV) bromide

CAS号:7789-66-4

中文别名:溴化硅

四氟化硅

英文名称:tetrafluorosilane

CAS号:7783-61-1

中文别名:氟化硅(IV)

二甲基硒

英文名称:dimethylselenide

CAS号:593-79-3

中文别名:二甲硒

四(乙氨基)锆

英文名称:Tetrakis(Diethylamino)Zirconium

CAS号:13801-49-5

中文别名:四(二乙氨基)锆

四(乙基甲基胺基)铪(IV)

英文名称:ethyl(methyl)azanide,hafnium(4+)

CAS号:352535-01-4

中文别名:四双(乙基甲基氨)铪(IV)

异丙氧化铪异丙醇加合物

英文名称:hafnium,propan-2-ol

CAS号:2171-99-5

中文别名:异丙醇铪(IV)异丙醇络合物

三甲基(甲基环戊二烯基)铂(IV)

英文名称:Trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV)

CAS号:94442-22-5

中文别名:(三甲基)甲基环戊二烯合铂(IV)

四(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)锆

英文名称:TETRAKIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)ZIRCONIUM

CAS号:18865-74-2

中文别名:四(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚烷二酮)锆(IV)

二(三甲基硅烷基)酰胺基铪(IV)氯化物

英文名称:BIS(TRIMETHYLSILYL)AMIDOHAFNIUM(IV) CHLORIDE

CAS号:70969-29-8

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铬(Ⅲ)

英文名称:chromium,(E)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one

CAS号:14434-47-0

中文别名:三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)鉻(Ⅲ)

双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)钙

英文名称:BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)CALCIUM(II)

CAS号:118448-18-3

中文别名:双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钙

三羰基(η-环戊二烯基)合锰

英文名称:Cyclopentadienylmanganese Tricarbonyl

CAS号:12079-65-1

中文别名:环戊二烯三羰基锰(CMT)

双(五甲基环戊二烯)镁

英文名称:magnesium,1,2,3,4,5-pentamethylcyclopenta-1,3-diene

CAS号:74507-64-5

中文别名:双(五甲基环戊烯)镁

三(二甲基酰胺基)铝(III)

英文名称:N-[bis(dimethylamino)alumanyl]-N-methylmethanamine

CAS号:32093-39-3

中文别名:三(二甲胺基)铝二聚体

五羰基溴化锰(I)

英文名称:Pentacarbonylbromomanganese(I)

CAS号:14516-54-2

中文别名:五羰基溴镁(I)

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